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J-GLOBAL ID：200903023566924507

露光装置

Inventor： 田 中 稔 ,  永 井 章 ,  三 宮 勝 也 ,  菅 野 渉 ,  坂 井 淳
Applicant, Patent owner： 株式会社アドテックエンジニアリング ,  キャノン・コンポーネンツ株式会社
Agent (1)： 高橋 清
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992115475
Publication number (International publication number)：1994027674
Application date： Apr. 07, 1992
Publication date： Feb. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】作業が簡単で精度の高い露光装置を提供する。【構成】ガラス板1に透明フィルム2がその周囲を気密に固定され、この間に空気が導入されて、透明フィルム2が膨らむ。フィルムマスク3は透明フィルム2の上に吸着フレーム6により装脱着可能に設けられている。

Claim (excerpt)：

露光波長を透過する支持基板と、該支持基板に装着され、露光波長を透過する柔軟材と、該柔軟材に装着されたフィルムマスクと、前記柔軟材と支持基板の間に流体を導入して、該フィルムマスクを被露光対象に対して押圧する押圧装置と、を備えたことを特徴とする露光装置。

IPC (3)：

G03F 7/20 ,  G03B 27/20 ,  H05K 3/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開昭63-053554