Pat

J-GLOBAL ID：200903023567644044

ウエハの加工方法及び平面研削盤

Inventor： 西 健一朗 ,  温井 満 ,  中嶋 和男 ,  村井 史朗
Applicant, Patent owner： 株式会社日平トヤマ
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997158724
Publication number (International publication number)：1999000854
Application date： Jun. 16, 1997
Publication date： Jan. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】 ウエハの少なくとも片面を研削加工する際ウエハを安定して自転させるウエハの加工方法及び平面研削盤。【解決手段】 ウエハ外周側面に回転ローラを押し当て、回転ローラを駆動させることによりウエハを回転させる。この場合ウエハが回転ローラの駆動力の外乱によって振動または姿勢変化を生じない様に流体静圧によりウエハを上下から非接触に保持する。

Claim (excerpt)：

インゴットから切断後のウエハを加工する方法において、該ウエハの少なくとも片面に砥石端面を作用させて研削する際に、前記ウエハの外周側面に回転ローラを押し当てて該回転ローラの回転により該ウエハを回転させながら研削を行なうことを特徴とするウエハの加工方法。