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J-GLOBAL ID：200903023607338685
ガイドマスク式プローブ基板
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 稔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992201806
Publication number (International publication number)：1994029359
Application date： Jul. 07, 1992
Publication date： Feb. 04, 1994
Summary：
【要約】【目的】 プローブの先端を設定された位置に常に正確に配置し、被検査半導体集積回路の端子上でのプローブの先端の滑りを最小限に止める。【構成】 多数のプローブ5の先端5aが並ぶ位置に、フイルム状のガイドマスク7を配置し、ガイドマスク7の、各プローブ5の先端5aの設定された位置に従って設けられたガイド孔8に、各プローブ5の先端5aを貫通させている。これにより、ガイドマスク7のガイド孔8の位置精度を高いものにすることによって、プローブ5の先端5aの位置精度を高める。
Claim (excerpt)：
プリントパターンを有するプリント基板の中央部に、環状のプローブ支持部材を固定し、該プローブ支持部材に、多数のプローブを先端が前記プリント基板の下方を向くように固定したプローブ基板において、前記プローブの先端が並ぶ位置に、フイルム状のガイドマスクを配置し、該ガイドマスクの、各プローブの先端の設定された位置に従って設けられたガイド孔に、各プローブの先端を貫通させたことを特徴とするガイドマスク式プローブ基板。
IPC (3)：
H01L 21/66
, G01R 1/073
, G01R 31/26
