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J-GLOBAL ID：200903023667840193

光導波路素子

Inventor： 中山 徹生
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995209490
Publication number (International publication number)：1997054293
Application date： Aug. 17, 1995
Publication date： Feb. 25, 1997
Summary：

【要約】【課題】 光導波路素子上の形成された金属薄膜電極のような一対の電極は、大気中の水分などによる損傷を受けやすく、電気光学変調器としての機能を果たさなくなる。【解決手段】 例えばニオブ酸リチウム(LiNbO3、以下LNという。)よりなる結晶基板2に例えばチタン(Ti)を熱拡散して光導波路3を形成し、この光導波路3を挟み込むように結晶基板表面2に例えば一対のアルミニウム(Al)薄膜電極よりなる電気光学変調器である光変調器4を設け、この光変調器4を例えば二酸化ケイ素(SiO2)よりなる保護膜5で保護してなる。保護膜5は、光変調器4をすべて覆うように形成されている。

Claim (excerpt)：

結晶基板に光導波路が形成された光導波路素子において、上記光導波路近傍の上記結晶基板表面に設けられた一対の電極と、上記一対の電極上に形成された保護膜とを備えることを特徴とする光導波路素子。

IPC (2)：

G02F 1/035 ,  G02F 1/313

FI (2)：

G02F 1/035 ,  G02F 1/313

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平1-128037
  
• 特開平1-238623
  
• 光ドップラ速度計
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-300426   Applicant：ソニー株式会社