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J-GLOBAL ID：200903023682250360

ウエハ搬送用ボックス

Inventor： 坪田 一哉
Applicant, Patent owner： 川崎製鉄株式会社
Agent (1)： 小杉 佳男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993106790
Publication number (International publication number)：1994318631
Application date： May. 07, 1993
Publication date： Nov. 15, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】気温、気圧、大気の変化に影響されず内部をクリーンに保つウエハ搬送ボックスを提供する。【構成】ウエハカセット2を収納した内側ボックス3に気体出入口4,5を設け、この気体出入口にフィルタ11及びファン12より構成されたクリーニングユニット14を備えた外側ボックス10を設ける。

Claim (excerpt)：

ウエハを収納するカセットを収容し、気体入口及び気体出口を有する内側箱体と、該内側箱体を収納し、前記気体入口に密接する清浄空気送入装置を備えた外側箱体とからなることを特徴とするウエハ搬送用ボックス。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/00 ,  B65D 85/38