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J-GLOBAL ID：200903023693354108

6軸力覚センサ

Inventor： 杉山 進 ,  鳥山 寿之
Applicant, Patent owner： 関西ティー・エル・オー株式会社
Agent (1)： 渡辺 三彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002199037
Publication number (International publication number)：2004045044
Application date： Jul. 08, 2002
Publication date： Feb. 12, 2004
Summary：

【課題】使用する歪ゲージの総数を減らすことで、チップの小型化、高感度化、消費電力の低減を可能とする6軸力覚センサを提供する。【解決手段】外端部を台座2に固定されたセンサ基部3と、該センサ基部の略中央部に設けられ、外部から力が加えられる力作用部4と、前記センサ基部上に設けられ、前記センサ基部に生じる歪を検知する歪ゲージ5と、該歪ゲージの抵抗変化を測定するブリッジ回路とを具備し、前記力作用部に加えられた力を、前記センサ基部上面において互いに直交する第1軸及び第2軸と、前記センサ基部に直交する第3軸について、各軸方向への力、及び各軸回りのモーメントの6つの軸力に分けて検出する6軸力覚センサにおいて、センサ基部の上面を、シリコン半導体の面方位(111)の結晶面とした。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

外端部を台座に固定されたセンサ基部と、該センサ基部の略中央部に設けられ、外部から力が加えられる力作用部と、前記センサ基部上に設けられ、前記センサ基部に生じる歪を検知する歪ゲージと、該歪ゲージの抵抗変化を測定するブリッジ回路とを具備し、前記力作用部に加えられた力を、前記センサ基部上面において互いに直交する第1軸及び第2軸と、前記センサ基部に直交する第3軸について、各軸方向への力、及び各軸回りのモーメントの6つの軸力に分けて検出する6軸力覚センサにおいて、 前記センサ基部の上面を、シリコン半導体の面方位(111)の結晶面としたことを特徴とする6軸力覚センサ。

IPC (2)：

G01L5/16 ,  B25J19/02

FI (2)：

G01L5/16 ,  B25J19/02

F-Term (10)：

2F051AA10 ,  2F051AB09 ,  2F051AC01 ,  2F051BA07 ,  2F051DA03 ,  2F051DB03 ,  3C007KS33 ,  3C007KV06 ,  3C007KW00 ,  3C007KW03