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J-GLOBAL ID:200903023715064486

光導波路縮小光学型イメージセンサ及びそれに用いられる光導波路アレイの製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 梅田 勝
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996200008
Publication number (International publication number):1998050968
Application date: Jul. 30, 1996
Publication date: Feb. 20, 1998
Summary:
【要約】【課題】 本発明は、高感度で、高S/N比での読み取りが可能で、且つ、作製工程が簡単で小型の光導波路型縮小イメージセンサを提供することを目的とする。【解決手段】 被写体からの入力光が導入される光導波路アレイ2と、その光導波路アレイ2からの出力光を電気信号に変換する光電変換素子アレイ3とから成る光導波路縮小光学型イメージセンサにおいて、光導波路アレイ2の光導波路1の入力端部を主走査方向及び副走査方向に広がったテーパ形状として、被写体からの入力光を直接光導波路1の入射端部に入射するように構成する。
Claim (excerpt):
被写体からの入力光が導入される光導波路アレイと、該光導波路アレイからの出力光を電気信号に変換する光電変換素子アレイとから成る光導波路縮小光学型イメージセンサにおいて、前記光導波路アレイの光導波路の入力端部を主走査方向及び副走査方向に広がったテーパ形状として、前記被写体からの入力光を直接前記光導波路の入射端部に入射するように構成されたことを特徴とする光導波路縮小光学型イメージセンサ。
IPC (2):
H01L 27/14 ,  H04N 1/028
FI (2):
H01L 27/14 D ,  H04N 1/028 Z
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (4)
  • 特開昭52-104807
  • 合成樹脂光伝送体
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平5-104844   Applicant:日立電線株式会社, 株式会社日立製作所
  • 特開昭59-110161
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Cited by examiner (4)
  • 特開昭52-104807
  • 合成樹脂光伝送体
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平5-104844   Applicant:日立電線株式会社, 株式会社日立製作所
  • 特開昭59-110161
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