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J-GLOBAL ID：200903023763679662

振動アクチュエータ

Inventor： 柴田 美子 ,  大根 一泰
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 鎌田 久男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997091974
Publication number (International publication number)：1998028387
Application date： Apr. 10, 1997
Publication date： Jan. 27, 1998
Summary：

【要約】【課題】 接触面が鏡面ラップされた相対運動部材をそなえる振動アクチュエータでは、接触面の摩耗や滑り音が発生し、実用化の障害となる。【解決手段】 駆動力取出部2a,2bを有する弾性体2と,駆動力取出部2a,2bに装着された摺動材5a〜5dを介して弾性体2に加圧接触し、1次元の相対運動を行う相対運動部材6とを備える超音波アクチュエータ11であって、相対運動部材6の弾性体2との接触面に、相対運動の方向と平行な方向への研削条痕6が形成される。

Claim (excerpt)：

複数種類の振動を発生する振動子と,前記振動子に加圧された状態で面接触し、前記振動子との間で1次元の相対運動を行う相対運動部材とを備える振動アクチュエータであって、前記振動子の前記相対運動部材との接触面,又は前記相対運動部材の前記振動子との接触面は、この接触面内における中心線平均粗さについて方向性を有し、かつ、前記中心線平均粗さが最大となる第1の方向に関する中心線平均粗さは、最小となる第2の方向に関する中心線平均粗さの3倍以上であることを特徴とする振動アクチュエータ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 超音波駆動装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-345302   Applicant：ニスカ株式会社
• 特開平4-125084