基板の選択的撥水処理方法、遮光部材形成基板及び映像素子用カラーフィルター基板

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：若林忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995178999
Publication number (International publication number)：1997033711
Application date： Jul. 14, 1995
Publication date： Feb. 07, 1997
Summary：

【要約】【課題】色特性が優れ、表面平滑性良好な誘電体基板の選択的撥水処理方法、金属薄膜形成基板及び映像素子用カラーフィルター基板を提供することを目的とする。【解決手段】部分的に金属部を形成してなる誘電体基板上にシランカップリング剤からなる撥水層を形成した後、該誘電体基板表面に酸素プラズマを照射することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

部分的に遮光部材を形成してなる基板上にシランカップリング剤からなる撥水層を形成した後、該基板表面に酸素プラズマを照射することを特徴とする誘電体基板の選択的撥水処理方法。

IPC (3)：

G02B 5/20 101 , C03C 17/30 , G02F 1/1335 505

FI (3)：

G02B 5/20 101 , C03C 17/30 B , G02F 1/1335 505

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

カラーフイルタおよび液晶表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-160572 Applicant：株式会社東芝, 東芝電子エンジニアリング株式会社

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