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J-GLOBAL ID：200903023789117433

強誘電体作製方法

Inventor： 酒巻 真一
Applicant, Patent owner： シチズン時計株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997067539
Publication number (International publication number)：1998261823
Application date： Mar. 21, 1997
Publication date： Sep. 29, 1998
Summary：

【要約】【課題】 緻密な強誘電体膜を低温で作製し、更に圧電性能を向上させる事。【解決手段】 ゾルゲル法で合成した強誘電体微粒子を用いて強誘電体を作製する。よって、焼成温度を下げることが可能となり工程の簡略化が計れ、電極材料選択の幅が広がり、その結果低コスト化が可能となる。更に、微粒子の粒径のバラツキが少ない事から、均質性に優れ、性能バラツキの少ない強誘電体を製造する事が可能となる。

Claim (excerpt)：

粒子の平均粒径が0.1μm以下である強誘電体微粒子を用いる事を特徴とする強誘電体作製方法。

IPC (3)：

H01L 41/09 ,  C04B 35/49 ,  H01L 41/24

FI (3)：

H01L 41/08 C ,  C04B 35/49 A ,  H01L 41/22 A