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J-GLOBAL ID：200903023802748081
洗浄装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994080217
Publication number (International publication number)：1995284738
Application date： Apr. 19, 1994
Publication date： Oct. 31, 1995
Summary：
【要約】【目的】例えば部品中央のフィルター膜面に影響を与えないように、カラーフィルターの周辺部のシール部のみを選択的にかつ自動的に洗浄でき、従って効率的かつ歩留り良く局所的洗浄ができる洗浄装置を提供する。【構成】被洗浄体の周辺部等局所表面を洗浄する洗浄装置であって、洗浄液を一定の圧力で供給する内管と、該内管の洗浄液供給力より大きい回収力で洗浄液を回収する外周管とからなる洗浄器と、前記被洗浄体の被洗浄面と洗浄器とを、接触状態で相対的にX-Y方向に移動させる担送機構とからなることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
被洗浄体の周辺部等局所表面を洗浄する洗浄装置であって、洗浄液を一定の圧力で供給する内管と、該内管の洗浄液供給力より大きい回収力で洗浄液を回収する外周管とからなる洗浄器と、前記被洗浄体の被洗浄面と洗浄器とを、接触状態で相対的にX-Y方向に移動させる担送機構とからなることを特徴とする洗浄装置。
IPC (2)：
B08B 3/02
, H01L 21/304 341
