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J-GLOBAL ID：200903023822493470
クリーンブース
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992045072
Publication number (International publication number)：1993248677
Application date： Mar. 03, 1992
Publication date： Sep. 24, 1993
Summary：
【要約】【目的】 クリーンルーム内に設置されたクリーンブースに関し,清浄空気の気流を制御して処理ウエハの汚染を防止することを目的とする。【構成】 1)可変窓14を設けた,開度を調節することにより内部の気流の方向を調節する,2)内部を流れる気流の断面上の複数の区域毎に開度可変の絞り15A, 15Bが設けられ,該区域ごとに気流の風量と風速を調節する,3)内部を流れる気流の風量と方向を検知して電気信号に変換する風向風速計17が開口窓に設けられ,該信号によりクリーンブースへの給気量を調節するように構成する。
Claim (excerpt)：
可変窓(14)を設けた,開度を調節することにより内部の気流の方向を調節することを特徴とするクリーンブース。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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