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J-GLOBAL ID：200903023833786461

表面検査装置、表面検査方法及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体

Inventor： 熊坂 博
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 國分 孝悦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997335454
Publication number (International publication number)：1999166905
Application date： Dec. 05, 1997
Publication date： Jun. 22, 1999
Summary：

【要約】【課題】 被検査物表面のキズ等の色変化のある欠陥と緩やかな凹凸等の色変化のない欠陥の有無を高速、高精度に検査する。【解決手段】 キズ等の欠陥を検査する場合は、感光体ドラム等の被検査物1をCCDカメラ3Aで撮像した画像をコントロール部4等で処理し、切換回路6からシェーディング補正回路7において良品の画像と減算される。また、凹凸欠陥を検査する場合は、被検査物1をCCDカメラ3Bで撮像した画像を処理して、切換回路6から切り出し回路8において、基準値と比較し比較結果のタイミングで画像をサンプルホールドし、ホールドした信号とサンプリング以後の画像と合成する。合成した信号又は上記減算した信号はその後、切換回路9からフィルタ処理、2値化処理された後、傷カウンタでカウントされ、そのカウント値を規格値と比較することにより、欠陥の有無を判定する。

Claim (excerpt)：

被検査物の表面を撮像し画像信号を出力する撮像手段と、上記画像信号を補正する補正手段と、上記画像信号の切り出しを行う切り出し手段と、上記補正手段と切り出し手段とを切換える切換え手段と、上記切換えられた補正手段又は切り出し手段の出力波形から上記被検査物の表面の欠陥部分を含む波形を検出する波形処理を行う波形処理手段と、上記波形処理された欠陥部分の波形を2値化する2値化手段と、上記2値化された信号を計測し、その計測値に基づいて欠陥の有無の判定を行う判定手段とを備えた表面検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G06T 1/00 ,  H04N 7/18

FI (3)：

G01N 21/88 J ,  H04N 7/18 B ,  G06F 15/62 380