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J-GLOBAL ID：200903023848176511

近接視野顕微鏡

Inventor： 福澤 健二 ,  桑野 博喜
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991299237
Publication number (International publication number)：1993134188
Application date： Nov. 14, 1991
Publication date： May. 28, 1993
Summary：

【要約】【目的】 0.1μm以下の直径を有し、かつサイズのばらつきおよび経時変化の少ない実効的な開口をし、開口から検出器までの光量の減衰によるSN比の劣化がない近接視野顕微鏡を提供する。【構成】 近接視野顕微鏡は、L字型に屈曲させられ、かつ尖らせた針状の導電体、例えば、針状のタングステンをL字型に屈曲させ、先端を電解研磨により尖らせた導電体1と、半導体2と、蛋白質バクテリオロドプシンを含む紫膜3と、被測定試料4を3次元方向に走査する機構、例えば走査型トンネル顕微鏡で用いられている3個のピエゾアクチュエータを組み合わせたステージ5と、被測定試料4に光を照射する光源、例えば水銀ランプ6と、導電体1と紫膜3との距離を計測する距離計測手段7と、導電体1と半導体2を支持する支持部8と、導電体1と半導体2の間に電圧を加える手段、例えば電池9で構成されている。

Claim (excerpt)：

光源と、受光部分の直径および受光部分と検査すべき試料表面との間隔が前記光源の光の波長より小さい検出器と、該検出器と試料の相対位置を3次元的に変化させる機構を有する近接視野顕微鏡において、前記検出器が、先端の曲率半径が前記光源の波長以下であるような針状の導電体あるいは半導体と、その針状の導電体あるいは半導体の先端に面する部分が光電変換機能を有する材料からなり、かつ被測定試料に最も近い部分の距離が光源の光の波長以下であるような導電体あるいは半導体と、前記針状の導電体あるいは半導体と前記導電体あるいは半導体の間に電圧を印加する電圧印加手段とを含み、その針状の導電体と光電変換機能を有する材料の間の距離を計測する距離計測手段を有することを特徴とする近接視野顕微鏡。