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J-GLOBAL ID：200903023861500344

ガラス基板分断方法

Inventor： 刈谷 孝
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996133723
Publication number (International publication number)：1997315833
Application date： May. 28, 1996
Publication date： Dec. 09, 1997
Summary：

【要約】【課題】製造コストの低減【解決手段】順次下記(1)〜(4)からなるガラス基板分断方法。(1)ステージ17上にスペーサ19を介してガラス基板20を配する。その際にスペーサ19のラインにそってガラス基板20にスクライブライン22を設定する。(2)ステージ17内に設けられた管18を通して空間領域21に対して真空引きをおこなって真空吸着させ、ガラス基板20を固定する。 (3)カッター装置23を走査して、カッター24をスクライブライン22の直上に配し、さらにエアーシリンダー26でカッター24を押圧しながら、スクライブライン22にそって切り込みを入れる。 (4)上記真空引きの真空度を60cmHg以上にまで高めることによってガラス基板20を複数に分断する。

Claim (excerpt)：

ステージ上にライン状のスペーサを介して単一のガラス基板もしくは貼り合わてなる一対のガラス基板を配して、ステージ、スペーサおよびガラス基板により囲まれる空間領域を成すとともに、スペーサのラインにそってガラス基板にスクライブラインを設定し、次いでステージ内に設けられた管を通して真空引きして、ステージ上にガラス基板を吸着させ、その後にカッターでガラス基板のスクライブラインにそって切り込みを入れ、しかる後に上記真空引きの真空度を高めることによってガラス基板を複数に分断することを特徴とするガラス基板分断方法。

IPC (2)：

C03B 33/033 ,  C03B 33/02

FI (2)：

C03B 33/033 ,  C03B 33/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平1-261238
  
• スクライブ装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-283353   Applicant：富士ゼロックス株式会社