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J-GLOBAL ID：200903023889686400

二官能β-エーテルアルコール類の揮発性金属アルコキシド、その製造方法およびその用途

Inventor： ヴォルフガング・アントン・ヘルマン ,  ノルベルト・フーバー
Applicant, Patent owner： ヘキスト・アクチェンゲゼルシャフト
Agent (1)： 湯浅 恭三 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994040738
Publication number (International publication number)：1994321824
Application date： Mar. 11, 1994
Publication date： Nov. 22, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【構成】 式 M[O-CR1R2CH2-O-CH3]n(式中、R1およびR2は互いに別個に、メチルまたは炭素原子が1ないし9個の完全フッ素化アルキル基、Mは元素周期表の第1、第2または第4ないし第15族の金属もしくは半金属、またはウランもしくはトリウム、および金属または半金属の原子価nが1,2,3または4)の揮発性錯化合物。【効果】 これらの金属アルコキシドは、金属酸化物の気相からの化学蒸着(CVD法)用前駆物質として適当である。

Claim (excerpt)：

式 M[O-CR1R2CH2-O-CH3]n (III)(式中、R1およびR2は互いに別個に、メチルまたは炭素原子が1ないし9個の完全フッ素化アルキル基、Mは元素周期表の第1、第2または第4ないし第15族の金属もしくは半金属、またはウランもしくはトリウム、および金属または半金属の原子価nが1、2、3または4)の揮発性錯化合物。

IPC (2)：

C07C 31/28 ,  C07C 29/68