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J-GLOBAL ID：200903023890216418

隔壁形成ガラス基板とその製造方法

Inventor： 伊勢田 徹
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995159265
Publication number (International publication number)：1997007526
Application date： Jun. 26, 1995
Publication date： Jan. 10, 1997
Summary：

【要約】【目的】ガラス基板上に隔壁を形成するためのコストを低減し、隔壁幅の微細化を可能とする方法を提供する。【構成】ガラス基板1表面に、厚さ2μm以下の薄板状の低融点ガラス微粉を主成分とし感光性樹脂を含む塗布液を塗り、フォトマスクを通して部分的に感光させ現像し、焼成する。

Claim (excerpt)：

ガラス基板上に形成された隔壁層が、主として薄板状ガラス粉体の焼結体からなることを特徴とする隔壁形成ガラス基板。

IPC (4)：

H01J 17/16 ,  H01J 9/02 ,  H01J 9/24 ,  H01J 11/02

FI (4)：

H01J 17/16 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 9/24 B ,  H01J 11/02 B