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J-GLOBAL ID：200903023898605022
テーブル装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
則近 憲佑
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993324881
Publication number (International publication number)：1995181276
Application date： Dec. 22, 1993
Publication date： Jul. 21, 1995
Summary：
【要約】【目的】 本発明は、試料台のZ方向位置とチルト量を独立に設定することができ、かつ、制御系、機構が複雑化せず、特にZ方向高さが小さくコンパクトで、コストの上昇が少ないテーブル装置を提供することを目的とする。【構成】 ベース1と、これに対して直動自在に支持された中間部材2と、この中間部材を変位させる駆動手段10と、前記中間部材に固着された3個の斜傾台3と、複数の弾性支持手段により変位可能となるように支持されたテーブル5と、このテーブルに固着された3つローラ支持機構6と、これに支持され、それぞれ前記3つの斜傾台の傾斜面に接触する3つのローラ7と、からなるテーブル装置において、前記3つのローラ7のうち少なくとも2つは、各々ローラ中心に対して偏心した中心軸を有し、この偏心軸が前記ローラ支持機構6に回転自在に支持され、ローラ支持機構に固定された回転駆動装置9によって任意の回転角に位置決め可能であることを特徴とするテーブル装置。
Claim (excerpt)：
ベースと、このベースのベース面に対して一軸方向に移動可能に支持された中間部材と、この中間部材を前記ベースに対して移動させる駆動手段と、前記ベース面に対して変位可能となるように弾性的に支持されたテーブルと、前記中間部材に取付けられた少なくとも3つの斜傾台と、これらの傾斜台の傾斜面に各々当接して回転可能な少なくとも3つのローラと、前記テーブルに取付けられ前記ローラを各々回転自在に支持する少なくとも3つのローラ支持機構とからなるテーブル装置において、前記ローラのうち少なくとも2つは、それぞれのローラの中心に対して偏心した回転中心軸を有し、この偏心した回転中心軸回りに前記ローラを回転位置決め可能なローラ駆動手段を備えていることを特徴とするテーブル装置。
IPC (5)：
G12B 5/00
, B23Q 1/44
, G01R 31/26
, H01L 21/66
, H01L 21/68
