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J-GLOBAL ID：200903023899416347
回転角速度センサ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
永田 武三郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992350995
Publication number (International publication number)：1994174476
Application date： Dec. 04, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：
【要約】【目的】 精度の良い、小型、低コストの回転角速度センサの提供。【構成】 シリコン基盤11上に圧電体薄膜12と共に誘電体薄膜13を多層に形成し、圧電体薄膜12上にLamb波を伝搬させるための電極14,15を形成し、発振回路を構成する。Lamb波の伝搬部分のシリコンを裏面からエッチングし、Lamb波の波長以下の薄いプレートとする。z軸を中心として回転角速度センサ(基盤11上に形成された半導体素子)に回転が加わるとコリオリ力の影響でLamb波の伝搬速度が回転方向及び角速度に応じて変化する。これが角速度Ωに比例した発振周波数の変化が電気信号aとして出力する。この出力をカウンタ17で検出し、演算装置18で周波数差を求め、得られた周波数差から回転角速度センサの回転角速度を算出する。
Claim (excerpt)：
所定の基盤上に設けられた誘電体膜層及び圧電膜層によって形成される半導体素子と、前記圧電膜層に形成された、所定のモードの弾性波を伝搬させるための一対の電極と、前記半導体素子の回転に伴う前記所定モードの弾性波の変化を検出する検出装置と、前記検出装置により検出された周波数の変化から前記半導体素子の回転角速度を算出する演算装置と、を有することを特徴とする回転角速度センサ。
IPC (2)：
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