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J-GLOBAL ID:200903023908106232

異方性導電膜及びその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 須田 正義
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996207500
Publication number (International publication number):1998050145
Application date: Aug. 07, 1996
Publication date: Feb. 20, 1998
Summary:
【要約】【課題】 導電性フィラー間のピッチがミクロンオーダーの極めて微小である異方性導電膜を得る。【解決手段】 異方性導電膜20は、厚さ3〜50μmの絶縁性薄膜14にこの薄膜を貫通する繊維径が0.01〜0.2μmの繊維状の金属13aが4〜180本/μm2の割合で混入してなる。アルミニウム材10を酸化して表面に微細孔12を有する多孔質酸化皮膜11を形成し、皮膜11をめっき処理して微細孔に金属13aを充填しかつ皮膜表面をめっき膜13bで被覆し、皮膜11を溶解して繊維状の金属13aがめっき膜13bに林立した剣山状の析出物13をアルミニウム材10から分離し、析出物13の金属13aの林立側に絶縁性硬化液を流し込んで乾燥して絶縁性薄膜14を形成し、薄膜の片面にあるめっき膜13bを溶解して薄膜14を露出させることにより、異方性導電膜20を作製する。
Claim (excerpt):
厚さ3〜50μmの絶縁性薄膜(14)に前記薄膜(14)を貫通する繊維径が0.01〜0.2μmの繊維状の金属(13a)が4〜180本/μm2の割合で混入した異方性導電膜。
IPC (3):
H01B 5/16 ,  H01B 13/00 501 ,  H01R 11/01
FI (3):
H01B 5/16 ,  H01B 13/00 501 P ,  H01R 11/01 K
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
  • 特開平3-276512
  • 特開平3-285212
  • 特開平3-293736
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