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J-GLOBAL ID：200903023934184349

一体型反射光学系

Inventor： 松田 融
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994284461
Publication number (International publication number)：1996122641
Application date： Oct. 24, 1994
Publication date： May. 17, 1996
Summary：

【要約】【目的】 基板の両端面に設けた反射面の面間隔を高精度に調整した一体型反射光学系を得ること。【構成】 同一の基板の端面に裏面反射を行う複数の反射面を設け、該複数の反射面を介した光束を利用する一体型反射光学系において該複数の反射面のうち少なくとも1つの反射面は該基板の端面に所定の厚さの透過膜を介して反射膜が形成されていること。

Claim (excerpt)：

同一の基板の端面に裏面反射を行う複数の反射面を設け、該複数の反射面を介した光束を利用する一体型反射光学系において該複数の反射面のうち少なくとも1つの反射面は該基板の端面に所定の厚さの透過膜を介して反射膜が形成されていることを特徴とする一体型反射光学系。

IPC (2)：

G02B 17/06 ,  G02B 5/08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 対物レンズ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-023587   Applicant：ソニー株式会社