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J-GLOBAL ID：200903023935524372

分光検査

Inventor： カランジェロ,ロバート・エム ,  ドルイ,マーク・エイ ,  スティーヴンソン,ウィリアム・エイ ,  グラトコウスキ,ポール・ジェイ
Applicant, Patent owner： フォスター-ミラー・インコーポレーテッド
Agent (1)： 社本 一夫 (外5名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997530998
Publication number (International publication number)：2000505556
Application date： Feb. 19, 1997
Publication date： May. 09, 2000
Summary：

【要約】非接触式の分光検査システムは、分析すべき材料(10)の表面に光線を収束させる伝送光学素子(42)と、材料(10)の表面から反射された光線を集め且つ分光検査分析構造体(54)に伝送すべくその反射した光線を光ファイバ構造体(52)に向ける受け取り光学素子(48)とを有する走査ヘッド構造体を備えている。

Claim (excerpt)：

分析装置と、光線ビームを発生させる光源とを備える、非接触式分析用の分光検査システムにおいて、 走査ヘッド構造体であって、該走査ヘッド構造体から隔てられた分析すべき材料の表面に前記光線ビーム中の光線を向けるべく該走査ヘッド構造体内に設けられた伝送光学素子と、前記材料の表面から反射された光線を集めるべく前記走査ヘッド構造体内に設けられた受け取り光学素子とを備える走査ヘッド構造体と、 前記集められた光線を受け取り且つ該集められた光線を前記分析装置に伝送する光ファイバ構造体とを備える、分光検査システム。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特公平3-049065
  
• 特公平3-049065
  
• 特開昭63-263446