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J-GLOBAL ID：200903023938651472

均一照明用光学系

Inventor： 大滝 桂 ,  市原 裕
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 佐藤 正年 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992269612
Publication number (International publication number)：1994095027
Application date： Sep. 11, 1992
Publication date： Apr. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】 円筒空洞内壁において均一な強度の照明光が得られるような均一照明用光学系の提供を目的とする。【構成】 均一照明用光学系において、光ファイバからの照明光をコリメートして得た平行光束を、その光軸を同心円状にとり囲む円筒内面状の被照射面に対して帯状に全周にわたって照射するよう反射または屈折させる照射光学部材として、前記平行光束をその光軸を含む中心領域と周辺領域とに分離する第1の屈折面と、該第1の屈折面で分離された前記中心領域の光束と前記周辺領域の光束とを前記被照射面上で重ねるように合成する第2の反射または屈折面とを有する円錐プリズム光学系を備えた。

Claim (excerpt)：

光ファイバからの照明光をコリメートして得た平行光束を、その光軸を同心円状にとり囲む円筒内面状の被照射面に対して帯状に全周にわたって照射するよう反射または屈折させる照射光学部材を備えた均一照明用光学系において、前記照射光学部材として、前記平行光束をその光軸を含む中心領域と周辺領域とに分離する第1の屈折面と、該第1の屈折面で分離された前記中心領域の光束と前記周辺領域の光束とを前記被照射面上で重ねるように合成する第2の反射または屈折面とを有する円錐プリズム光学系を備えたことを特徴とする均一照明用光学系。

IPC (5)：

G02B 27/00 ,  G02B 5/04 ,  G02B 17/08 ,  G02B 23/24 ,  G02B 23/26