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J-GLOBAL ID：200903023939552575

磁気ディスク用ガラス基板の加工装置

Inventor： 石橋 一晃
Applicant, Patent owner： 旭テクノグラス株式会社
Agent (1)： 須山 佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999357928
Publication number (International publication number)：2001172036
Application date： Dec. 16, 1999
Publication date： Jun. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】 磁気ディスク用ガラス基板の加工装置において、ガラス基板を主表面で把持するクランプ部のガラス基板との把持面に異物が存在した場合に、異物により応力が集中してガラス基板の主表面に破損が生じることを防ぐことにより、製造装置を停止させたりすることがなく、歩留まりの向上の可能な加工装置を提供する。【解決手段】 クランプ部のガラス基板をガラス基板主表面で把持する把持面に、ガラス基板面における応力集中を緩和する応力緩和材を設ける。こうすることによって、ガラス基板の主表面とクランプ部との間にガラスの微小片などの異物が挟み込まれた場合に、ガラス基板の異物の存在する部分に応力が集中することを回避し、ガラス基板の主表面に割れやクラックやキズなどの発生を防止する。

Claim (excerpt)：

磁気デイスク用ガラス基板を該ガラス基板をクランプ材で加圧把持し前記ガラス基板を加工する磁気ディスク用ガラス基板の加工装置において、前記ガラス基板を前記ガラス基板の主表面で把持する前記クランプ部材の把持面に、応力緩和材を設けたことを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の加工装置。

IPC (3)：

C03B 33/023 ,  G11B 5/84 ,  B24B 9/00 601

FI (3)：

C03B 33/023 ,  G11B 5/84 Z ,  B24B 9/00 601 G

F-Term (15)：

3C049AA03 ,  3C049AA09 ,  3C049AA18 ,  3C049AB04 ,  3C049CA06 ,  3C049CB01 ,  4G015FA00 ,  4G015FB01 ,  4G015FC01 ,  4G015FC10 ,  5D112AA02 ,  5D112AA24 ,  5D112BA03 ,  5D112GA09 ,  5D112KK01