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J-GLOBAL ID：200903023964014502

故障部位検出方法および装置

Inventor： 佐々木 恵一
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 大胡 典夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996190160
Publication number (International publication number)：1998038984
Application date： Jul. 19, 1996
Publication date： Feb. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】 広範囲な対象電子回路装置に適用でき、設計上の専門的知識を必要とせずに、非接触で、高分解能かつ高感度な故障部位検出を可能とする方法および装置を提供すること。【解決手段】 動作状態にある対象電子回路装置10に磁場を印加するための磁石11が設けられる。この磁石11は走査手段12によって、対象電子回路装置10の表面に沿ってスキャンされる。この走査手段12による磁場印加時に前記磁石に働く反作用の力を反作用検出手段13により電気信号として検出する。この手段により検出した電気信号は解析手段17により解析され、反作用力を数値化する。この手段により数値化された反作用力データは、比較手段17により、予めデータベースに格納された前記対象電子回路装置10の正常時における対応する反作用力データと比較され、これによって故障部位が検出される。

Claim (excerpt)：

磁石により動作状態にある対象電子回路装置に磁場を印加し、この磁石を対象電子回路装置の表面に沿ってスキャンして、この磁場印加時に前記磁石に働く反作用の力を電気信号として検出し、この検出した電気信号を解析して反作用力を数値化し、この数値化された反作用力データを予めデータベースに格納された前記対象電子回路装置の正常時における対応する反作用力データと比較することを特徴とする故障部位検出方法。

IPC (4)：

G01R 31/302 ,  G01R 33/02 ,  G01R 33/10 ,  H01L 21/66

FI (4)：

G01R 31/28 L ,  G01R 33/02 F ,  G01R 33/10 ,  H01L 21/66 C