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J-GLOBAL ID：200903023970348528

音響マイクロセンサ装置を駆動する方法および装置

Inventor： コンラート ヴォルフ ,  ハンス ヘヒト ,  ファルク ヘルマン
Applicant, Patent owner： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
Agent (1)： 矢野 敏雄 (外4名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000579989
Publication number (International publication number)：2002529702
Application date： Sep. 22, 1999
Publication date： Sep. 10, 2002
Summary：

【要約】音響マイクロセンサ装置、例えば測定媒体の物理的特性を検出するためのセンサ装置を駆動する方法および装置を提供する。電気音響トランスデューサ(6)を用いて音響的表面波を設定された波モードで形成し、これを検出し、その波の伝搬区間に沿った伝搬特性から測定媒体の物理的特性に対する尺度を求める。基板(5;22)の表面の測定媒体が存在する領域で、洗浄用トランスデューサ(20;24)により付加的に、サジタルに偏波した表面波が形成される。

Claim (excerpt)：

電気音響トランスデューサ(6)を用いてセンサベース素子内で音響表面波を所定の波モードで形成および検出し、 該波モードの伝搬区間に沿った伝搬特性から測定媒体の物理特性に対する尺度を求める、音響マイクロセンサ装置を駆動する方法において、 センサベース素子で測定媒体が存在する表面領域内にサジタルに偏波する表面波を形成する、ことを特徴とする音響マイクロセンサ装置を駆動する方法。

IPC (4)：

G01N 29/02 ,  G01N 9/00 ,  G01N 11/16 ,  G01N 29/18

FI (4)：

G01N 29/02 ,  G01N 9/00 E ,  G01N 11/16 Z ,  G01N 29/18

F-Term (10)：

2G047AA01 ,  2G047AD03 ,  2G047BA01 ,  2G047BC12 ,  2G047BC14 ,  2G047CA01 ,  2G047CB03 ,  2G047EA11 ,  2G047EA20 ,  2G047GB32

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特表昭64-500052
  
• センサ及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-056258   Applicant：財団法人神奈川科学技術アカデミー, 田川良彦
• 体積超音波トランスジューサ及び弾性表面波装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-001585   Applicant：セイコーエプソン株式会社