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J-GLOBAL ID：200903023979068730

プラズマCVD装置のサセプタに使用されるウエハ保持ピン

Inventor： 堀尾 泰臣 ,  小林 賢治 ,  箕浦 誠司
Applicant, Patent owner： イビデン株式会社
Agent (1)： 広江 武典
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991255226
Publication number (International publication number)：1993098449
Application date： Oct. 02, 1991
Publication date： Apr. 20, 1993
Summary：

【要約】【目的】 使用中又は運搬時の衝撃等よる折損の防止を図ったプラズマCVD装置のサセプタに使用されるウエハ保持ピンを提供する。【構成】 この保持ピン6は、炭素繊維強化炭素材料からなることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

ウエハの表面に絶縁膜を形成させるプラズマCVD装置内に設置されるサセプタに使用されるウエハ保持ピンであって、炭素繊維強化炭素材料からなることを特徴とするウエハ保持ピン。

IPC (7)：

C23C 16/50 ,  C01B 31/04 101 ,  C04B 35/54 ,  C04B 35/56 101 ,  C04B 35/80 ,  C30B 25/12 ,  H01L 21/205

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭63-230879
  
• 特開昭53-142183