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J-GLOBAL ID：200903023986597129

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

Inventor： 正岡 和隆 ,  市川 立也 ,  遠藤 昌樹 ,  石丸 敏明 ,  沢辺 賢 ,  小林 明洋
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992036130
Publication number (International publication number)：1993232699
Application date： Feb. 24, 1992
Publication date： Sep. 10, 1993
Summary：

【要約】【目的】 柔軟で可撓性に富んだ膜特性を有し、現像スカムの発生しない感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントを提供すること。【構成】 (A)下記の一般式(I)で表されるエチレン性不飽和化合物少なくとも1種、(B)有機ハロゲン化合物、(C)フィルム性付与ポリマー並びに(D)活性線により遊離ラジカルを生成しうる増感剤及び/又は増感剤系を含有してなる感光性樹脂組成物並びに該組成物の層とこれを支持する支持体フィルムとからなる感光性エレメントである。なお、一般式(I)において、Rは水素原子又はメチル基を表し、m及びnはそれぞれ1以上の整数であり、mとnの和が5以上となるように選択される。【化1】

Claim (excerpt)：

(A)一般式(I)【化1】〔式中、Rは水素原子又はメチル基を表し、m及びnはそれぞれ1以上の整数であり、mとnの和が5以上となるように選択される。〕で表されるエチレン性不飽和化合物少なくとも1種、(B)有機ハロゲン化合物、(C)フィルム性付与ポリマー並びに(D)活性線により遊離ラジカルを生成しうる増感剤及び/又は増感剤系を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (8)：

G03F 7/027 511 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/06