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J-GLOBAL ID：200903024015060958
塗布現像露光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998007128
Publication number (International publication number)：1999204411
Application date： Jan. 19, 1998
Publication date： Jul. 30, 1999
Summary：
【要約】【課題】 インライン構成の塗布現像露光装置において、塗布現像装置から投影露光装置への投影露光工程に悪影響をもたらす物質の侵入を防止する。【解決手段】 投影露光装置(1)と塗布現像装置(2)とを接続する接続部(3)の内圧を、前記投影露光装置(1)及び前記塗布現像装置(2)のいずれの内圧より低く設定し、かつ、塗布現像露光装置(10)が設置されるクリーンルーム(8)の圧力より高く設定する。
Claim (excerpt)：
露光用照明光のもとでマスク上のパターンの像を投影光学系を介して感光体が塗布された基板上に投影露光する空調系を有する投影露光装置と、前記基板上に前記感光体を塗布し、前記パターンの像が投影露光された前記感光体を現像する空調系を有する塗布現像装置と、前記投影露光装置と前記塗布現像装置とを接続する接続部と、からなるクリーンルーム内に設置された塗布現像露光装置であって、前記接続部の内圧が、前記投影露光装置及び前記塗布現像装置のいずれの内圧より低く設定され、かつ、前記クリーンルームの圧力より高く設定されていることを特徴とする塗布現像露光装置。
IPC (3)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
, G03F 7/30 501
H01L 21/30 516 F
, G03F 7/20 521
, G03F 7/30 501
, H01L 21/30 515 B
