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J-GLOBAL ID：200903024045173315
電動ステージ制御装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991042784
Publication number (International publication number)：1993011850
Application date： Feb. 15, 1991
Publication date： Jan. 22, 1993
Summary：
【要約】【目的】本発明は、極低速域でのステージのスムーズな移動を可能にすると共に、コストアップおよび装置の大型化を防止することのできる電動ステージ制御装置を提供することを目的としている。【構成】本発明は、ステージ駆動用の電動機の状態をインクリメンタルエンコーダで検出し、この状態検出信号と目標値との偏差を所定のサンプリングタイムでPID演算部に取り込んで制御信号を生成し、該PID演算部で得られた制御信号を電動機へ与えて前記ステージを位置制御する電動ステージ制御装置において、PID演算部の微分演算系の微分制御サイクルを駆動速度に応じて変化させる手段を具備してなる。
Claim (excerpt)：
ステージ駆動用の電動機の状態をインクリメンタルエンコーダで検出し、この状態検出信号と目標値との偏差を所定のサンプリングタイムでPID演算部に取り込んで制御信号を生成し、該PID演算部で得られた制御信号を前記電動機へ与えて前記ステージを位置制御する電動ステージ制御装置において、前記ステージの速度を微分演算によって算出する前記PID演算部の微分演算系に前記偏差を取り込むサンプリングタイムを駆動速度に応じて変化させる手段を具備したことを特徴とする電動ステージ制御装置。
IPC (4)：
G05D 3/12 305
, G05B 21/02
, G05D 3/12
, G05D 3/12 303
Cited by examiner (7)
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