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J-GLOBAL ID：200903024078425620

金属材料の研磨用組成物

Inventor： 竹内 美明 ,  山本 浩二 ,  梅崎 博
Applicant, Patent owner： 住友化学工業株式会社
Agent (1)： 諸石 光▲ひろ▼ (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991188654
Publication number (International publication number)：1993009463
Application date： Jul. 29, 1991
Publication date： Jan. 19, 1993
Summary：

【要約】【構成】水とアルミナ研磨材及び研磨促進剤からなる金属材料の研磨用組成物に於いて、該研磨促進剤が硝酸クロム(III) 、硝酸ランタン、硝酸アンモニウムセリウム(III) 及び硝酸ネオジウムのうちから選ばれた少なくとも1種であることを特徴とする金属材料の研磨用組成物。【効果】磁気ディスク基板、半導体基板等の金属材料に対し、加工能率が高く、面粗度が小さく、表面欠陥の極めて少ない精密研磨加工が可能である。

Claim (excerpt)：

水とアルミナ研磨材及び研磨促進剤からなる金属材料の研磨用組成物に於いて、該研磨促進剤が硝酸クロム(III) 、硝酸ランタン、硝酸アンモニウムセリウム(III) 及び硝酸ネオジムのうちから選ばれた少なくとも1種であることを特徴とする金属材料の研磨用組成物。

IPC (3)：

C09K 3/14 ,  B24B 37/00 ,  G11B 5/84