Pat

J-GLOBAL ID：200903024118545836

情報処理装置及び微小ティップの製造方法

Inventor： 高松 修 ,  柳沢 芳浩 ,  岡村 好真 ,  島田 康弘 ,  中山 優
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992314259
Publication number (International publication number)：1994150405
Application date： Oct. 30, 1992
Publication date： May. 31, 1994
Summary：

【要約】【構成】 シリコン単結晶基板表面に結晶軸異方性エッチングにより凹部を形成し、該凹部を含めた基板表面にトンネル電流用微小ティップ及び該トンネル電流用配線、下電極となる部分をパターニングし、スパッタリングによりプラチナを成膜した後、圧電体層及び中電極層、上電極層を積層してなるカンチレバー型プローブと、凸部を有する単結晶シリコン基板の該凸部表面に記録層を設けてなる記録媒体を対向配置してなる情報処理装置。【効果】 微小ティップが均一で情報の高速処理を信頼性高く行うことができる。

Claim (excerpt)：

半導体基板表面に設けられた開口部に先端部分の変位手段を有するカンチレバーを配し、該カンチレバー先端部分の基板裏面側に情報入出力用微小ティップを設けてなるプローブユニットと、基板表面に記録層を有する凸部を設けて記録エリアとし、上記微小ティップが該記録エリアに近接するように上記プローブユニットに対向配置してなる記録媒体と、プローブユニットを変位させるための駆動手段、該駆動手段を制御するための制御手段、微小ティップと記録エリアとの距離を調整する手段、及びプローブと記録媒体の間に電圧を印加する手段を備えたことを特徴とする情報処理装置。

IPC (3)：

G11B 9/00 ,  H01J 37/28 ,  H01L 41/09