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J-GLOBAL ID：200903024131485770

表面観察装置用プローブ

Inventor： 田中 伸司 ,  河村 喜雄 ,  佐藤 一雄 ,  保坂 純男
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992034742
Publication number (International publication number)：1993231862
Application date： Feb. 21, 1992
Publication date： Sep. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】試料の原子間力または磁気力を検出し,表面形態や磁気情報を高性能で計測するのに好適な安価でしかも高機能のプローブを提供する.【構成】シリコンウエハに異方性エッチングで形成した段差面の斜面を利用して形成したプローブ1と,それを支持するシリコン基板2で構成され,該プレートが該基板との熱膨張差に基づく力によって壊れないようにプローブの長さ,幅,角度を規定する.【効果】プレート(カンチレバー)の先端部に設けた鋭い探針を備え,試料表面の原子間力または磁気力を高感度,高分解能で検出し,表面形態情報と磁気情報を高性能で再現性良く得られるプローブを提供できる。

Claim (excerpt)：

接近した試料表面との間に作用する力を受ける先端部が鋭く尖った構造の針部と,該試料表面と該探部の間に作用した力によって変形するプレートで構成され,該プレートはシリコン基板上に形成された酸化シリコン膜を素材とし,該プレートの支持部の幅がW,該プレートの長さがLで該プレートの該梁部から支持部を見た開き角度がθであるプローブにおいて,W・sin(θ/2)/Lの値が0.12以下となる関係を満たす形状を有することを特徴とする表面観察装置用プローブ。

IPC (2)：

G01B 21/30 ,  G01B 7/34