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J-GLOBAL ID：200903024133994191

液晶表示装置の製造方法

Inventor： 笠井 勉 ,  小下 敏之 ,  中谷 光雄 ,  菊地 雅人
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 中村 純之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993140588
Publication number (International publication number)：1994349857
Application date： Jun. 11, 1993
Publication date： Dec. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 信号線の断線が生ずるのを防止する。【構成】 下部透明ガラス基板を無機アルカリ洗浄液を用いてアルカリ洗浄し、下部透明ガラス基板上にCrからなる第1導電膜をスパッタリングにより設け、写真処理後、エッチング液として硝酸第2セリウムアンモニウム溶液で第1導電膜を選択的にエッチングすることによってゲート端子、ドレイン端子を形成し、下部透明ガラス基板を無機アルカリ洗浄液を用いたディップ式の洗浄装置を使用してアルカリ洗浄する。

Claim (excerpt)：

透明基板に端子を形成したのちに、上記透明基板をアルカリ洗浄することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。

IPC (3)：

H01L 21/336 ,  H01L 29/784 ,  G02F 1/136 500