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J-GLOBAL ID：200903024134744334
微小パタ-ン形状検査方法及びその装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999274696
Publication number (International publication number)：2000171230
Application date： Sep. 28, 1999
Publication date： Jun. 23, 2000
Summary：
【要約】【課題】本発明は、精度高く微小パターンの検査を行う。【解決手段】複数の良品画像データに基づいて濃度差や形状差のばらつきに応じた基準画像データを生成する基準画像生成手段21と、この基準画像生成手段21で生成された基準画像データと被検査画像データとの画像間演算を行ってその差画像データを抽出する差画像抽出手段22と、この差画像抽出手段22で抽出された差画像データと予め定められたしきい値とを比較して濃度の欠陥部分や形状の欠陥部分を抽出する欠陥抽出手段23とを備えた。
Claim (excerpt)：
複数の良品画像データに基づいて濃度差や形状差のばらつきに応じた基準画像データを生成する基準画像生成工程と、この基準画像生成工程で生成された前記基準画像データと被検査画像データとの画像間演算を行ってその差画像データを抽出する差画像抽出工程と、この差画像抽出工程で抽出された前記差画像データと予め定められたしきい値とを比較して濃度の欠陥部分や形状の欠陥部分を抽出する欠陥抽出工程と、を有することを特徴とする微小パターン形状検査方法。
IPC (2)：
FI (2)：
G01B 15/04
, G01N 21/956 A
