電子源用のマイクロチップの製造方法及びこの方法により得られた電子源用マイクロチップ

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：志賀正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995098885
Publication number (International publication number)：1996087959
Application date： Apr. 24, 1995
Publication date： Apr. 02, 1996
Summary：

【要約】【目的】マイクロチップの陰極の特性及び大表面における一様性を向上させることができる電子源用のマイクロチップの製造方法及び前記方法を用いて得られる電子源用のマイクロチップを得ることを目的とする。【構成】本電子源の製造方法は、陰極導電体(8)のシステムと、中間絶縁体23の上に置かれたグリッド(10a)と、前記陰極導電体の上に堆積されたマイクロチップ(18)とを備え、前記グリッドが下面(I)と上面(S)との間に幾何学的に位置しており、前記マイクロチップが第1の清浄工程と、この後の表面エッチによる仕上げ又は改良工程とが施されることを特徴とする。なお、本願出願のマイクロチップは2つの部分からなる。

Claim (excerpt)：

陰極導電体のシステムと、中間の絶縁体とマイクロチップとの上に置かれたグリッドとを備え、前記グリッドは幾何学的に下面(I)と上面(S)との間に位置してなる電子源の製造方法又は製造物において、前記マイクロチップは第1の清浄工程及びこの後の表面エッチングによる仕上げ工程が実行されることを特徴とする電子源用のマイクロチップの製造方法又はこの方法により得られた電子源用マイクロチップ。

IPC (3)：

H01J 9/02 , H01J 1/30 , H01J 31/12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

電界放射型電極の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-172889 Applicant：松下電工株式会社
特開平3-225721
特開平3-225721

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