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J-GLOBAL ID：200903024152610353

水晶振動子を用いた荷重センサ

Inventor： 千葉 亜紀雄 ,  小野 公三 ,  山中 正美 ,  安達 元之
Applicant, Patent owner： 日本電波工業株式会社 ,  大和製衡株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000390393
Publication number (International publication number)：2002188969
Application date： Dec. 22, 2000
Publication date： Jul. 05, 2002
Summary：

【要約】【目的】板面に対する直交方向に生ずる機械的変形を防止して、加重のみによる振動周波数の変化を検出した高精度の荷重センサを提供する。【構成】水晶片の対向する外周部に荷重を加え、前記水晶片の荷重方向に対する応力感度に基づく振動周波数の変化によって、前記荷重を測定する水晶振動子を用いた荷重センサにおいて、前記外周部に加えられる荷重によって前記水晶片の板面に対して直交方向の機械的変形を防止する形状とした構成とする。具体的には、水晶片の外周部に荷重を加えて前記水晶片の振動周波数の変化によって前記荷重を測定する水晶振動子を用いた荷重センサにおいて、前記水晶片を厚みの小さい振動部と、前記荷重方向と同方向となる外周に設けた厚みの大きい保護枠部とから形成した構成とする。また、水晶片の外周部に荷重を加えて前記水晶片の振動周波数の変化によって前記荷重を測定する水晶振動子を用いた荷重センサにおいて、前記水晶片の荷重方向と直交する外周に溝を設けた構成とする。

Claim (excerpt)：

水晶片の対向する外周部に荷重を加え、前記水晶片の荷重方向に対する応力感度に基づく振動周波数の変化によって、前記荷重を測定する水晶振動子を用いた荷重センサにおいて、前記外周部に加えられる荷重によって前記水晶片の板面に対して直交方向の機械的変形を防止する形状としたことを特徴とする荷重センサ。

IPC (2)：

G01L 1/10 ,  H01L 41/08

FI (2)：

G01L 1/10 A ,  H01L 41/08 Z