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J-GLOBAL ID：200903024204504816

角速度センサ

Inventor： 伊勢 英二 ,  小阪 彰伯
Applicant, Patent owner： キンセキ株式会社
Agent (1)： 山川 政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997161276
Publication number (International publication number)：1999006735
Application date： Jun. 18, 1997
Publication date： Jan. 12, 1999
Summary：

【要約】【課題】 角速度の検出感度をアップする。脚部の電界のバランスを均一にし振動漏れを防ぐ。側面の検出用電極板と主面のリード電極との導通の信頼性を上げる。【解決手段】 励振用の電極板4-1〜4-4の交差範囲LAの終端を脚部1-1の滑動端S1付近まで延ばす。これにより、歪みが大きくなる方向への有効作用長が長くなり、より大きな励振が得られる。電極板5’-1〜5’-4の交差範囲LBの終端を脚部1-2の滑動端S2付近まで延ばす。これにより、歪みが大きくなる方向への有効作用長が長くなり、より大きな電荷が得られる。歪みの小さな最上部以外は滑動端S1,S2付近まで電極板を均等に延ばし電界のバランスを均一にする。電極板5’-1〜5’-4は脚部1-2の主面および側面にまたがって形成する。これにより、側面から主面への電極板の廻し込み幅が大となり、主面リード電極との導通の信頼性が上がる。

Claim (excerpt)：

U字型の振動子素子と、このU字型の振動子素子の一方の脚部に形成された励振電極と、他方の脚部に形成された検出電極とを備え、前記励振電極に交流電圧を印加することにより前記振動子素子を振動させながら、前記検出電極に生ずる電圧信号に基づいて前記脚部の伸縮方向の回りに作用する回転角速度を検出する角速度センサにおいて、前記励振電極および前記検出電極の少なくとも一方は、その電極を構成する各電極板の交差範囲の終端がその電極が形成された脚部の滑動端付近まで延びていることを特徴とする角速度センサ。

IPC (2)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (2)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 角速度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-105498   Applicant：松下電器産業株式会社
• 振動ジャイロ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-281596   Applicant：トヨタ自動車株式会社, 株式会社豊田中央研究所