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J-GLOBAL ID：200903024208598904

外観検査装置

Inventor： 香月 勇三
Applicant, Patent owner： 株式会社東京精密
Agent (5)： 石田 敬 ,  鶴田 準一 ,  廣瀬 繁樹 ,  西山 雅也 ,  樋口 外治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002265197
Publication number (International publication number)：2004101406
Application date： Sep. 11, 2002
Publication date： Apr. 02, 2004
Summary：

【課題】簡易かつ低費用で明視野照明と暗視野照明との両方を実現する。【解決手段】光源と、光源からの入射光の共役点に配置される輪帯フィルタとを具備し、さらに、輪帯フィルタを通過した入射光の方向を変更するビームスプリッタとを具備し、該ビームスプリッタにより方向が変化した入射光は標本に入射した後に該標本により反射光として反射されており、前記反射光は前記ビームスプリッタを通過しており、入射光を輪帯フィルタにより標本に対して斜めに入射させるようにすることにより、反射光のうちの高次の回折光のみが入射光の光路内に進入するようにした外観検査装置が提供される。さらに、ビームスプリッタを通過した反射光の共役点に配置されるアパーチャを具備し、入射光の周方向反対側に反射する反射光の低次の回折光をアパーチャにより遮断するようにしてもよい。また輪帯フィルタおよびアパーチャの寸法が可変でもよい。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

光源と、 該光源からの入射光の共役点に配置される輪帯フィルタとを具備し、該輪帯フィルタは中心付近に位置する光遮断部分と該光遮断部分の周りに位置する環状の光透過部分とを備えており、 さらに、 該輪帯フィルタを通過した入射光の方向を変更するビームスプリッタとを具備し、該ビームスプリッタにより方向が変化した入射光は標本に入射した後に該標本により反射光として反射されており、前記反射光は前記ビームスプリッタを通過しており、 前記輪帯フィルタにより前記入射光を前記標本に対して斜めに入射させるようにした外観検査装置。

IPC (4)：

G01N21/956 ,  G01B11/24 ,  G02B21/06 ,  H01L21/66

FI (4)：

G01N21/956 A ,  G02B21/06 ,  H01L21/66 J ,  G01B11/24 F

F-Term (37)：

2F065AA49 ,  2F065AA56 ,  2F065BB03 ,  2F065BB17 ,  2F065BB18 ,  2F065CC19 ,  2F065DD02 ,  2F065DD09 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065HH16 ,  2F065HH17 ,  2F065LL21 ,  2F065LL30 ,  2F065LL37 ,  2F065UU07 ,  2G051AA51 ,  2G051AB11 ,  2G051AB20 ,  2G051BB05 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CC07 ,  2H052AC04 ,  2H052AC08 ,  2H052AC17 ,  2H052AC27 ,  2H052AD34 ,  2H052AF02 ,  4M106AA01 ,  4M106BA06 ,  4M106CA38 ,  4M106DB07 ,  4M106DB12 ,  4M106DB13 ,  4M106DB14 ,  4M106DB18