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J-GLOBAL ID：200903024235784353

リソグラフイ-用ペリクル

Inventor： 永田 愛彦 ,  野口 仁 ,  樫田 周
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991183251
Publication number (International publication number)：1993005982
Application date： Jun. 27, 1991
Publication date： Jan. 14, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明はペリクルの通気性がよく、その内外差圧をなくすことができ、ペリクル内への粒子侵入阻止率を高くしたリソグラフィ-用ペリクルの提供を目的とするものである。【構成】 本発明のリソグラフィ-用ペリクルは、ペリクル装着用のペリクル枠の一部に開口部を設け、この開口部を除粒子用のフイルタ-で覆うてなることを特徴とするものである。

Claim (excerpt)：

ペリクル装着用のペリクル枠の一部に開口部を設け、この開口部を除粒子用のフィルタ-で覆うてなることを特徴とするリソグラフィ-用ペリクル。

IPC (2)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027