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J-GLOBAL ID：200903024253596084
基板搬送装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
田辺 恵基
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993314370
Publication number (International publication number)：1995142382
Application date： Nov. 18, 1993
Publication date： Jun. 02, 1995
Summary：
【要約】【目的】本発明は、帯電した基板を搬送する際においても、放電によるパターンの破壊やごみの付着等のおそれなく基板を搬送することができる基板搬送装置を提案することを目的とする。【構成】未処理基板を基板待機位置から処理位置へ搬入する第1の搬送手段12B及び処理済基板を処理位置から基板待機位置へ搬出する第2の搬送手段12Cが互いにすれ違う場合、第1及び第2の搬送手段12B、12Cの相対速度が小さくなるように、第1の搬送手段12B又は第2の搬送手段12Cの搬送速度を減速する速度制御手段7を備える。これにより基板が帯電している場合でも放電が起つて基板上に形成された回路パターンが破壊されるおそれを有効に回避することができる。
Claim (excerpt)：
未処理基板を基板待機位置から処理位置へ搬入する第1の搬送手段と、処理済基板を前記処理位置から前記基板待機位置へ搬出する第2の搬送手段とを有する基板搬送装置において、前記第1及び第2の搬送手段が互いにすれ違う場合、前記第1及び第2の搬送手段の相対速度が小さくなるように、前記第1の搬送手段又は前記第2の搬送手段の搬送速度を減速する速度制御手段を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (2)：
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