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J-GLOBAL ID：200903024256450170
高純度窒化珪素微粒子の製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992143640
Publication number (International publication number)：1993310405
Application date： May. 11, 1992
Publication date： Nov. 22, 1993
Summary：
【要約】【目的】 高純度で微細な単分散粒子の窒化珪素を、四塩化珪素やモノシラン等のような高価な原料を用いることなく製造すること。【構成】 窒素を含む雰囲気中で金属シリコン粉末を窒化して窒化珪素を製造する方法において、上記雰囲気中に、不純物として不可避的に混入する以外のアルカリ金属又はアルカリ土類金属を含ませないで、塩素及び/又はフッ素のハロゲンと水素の成分を含ませてなることを特徴とする高純度窒化珪素微粒子の製造方法。
Claim (excerpt)：
窒素を含む雰囲気中で金属シリコン粉末を窒化して窒化珪素を製造する方法において、上記雰囲気中に、不純物として不可避的に混入する以外のアルカリ金属又はアルカリ土類金属を含ませないで、塩素及び/又はフッ素のハロゲンと水素の成分を含ませてなることを特徴とする高純度窒化珪素微粒子の製造方法。
IPC (2)：
C01B 21/068
, C04B 35/58 102
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