Pat

J-GLOBAL ID：200903024257452184

酸化錫膜のエッチング方法

Inventor： 矢島 明政 ,  石塚 義次 ,  田中 昌利
Applicant, Patent owner： 旭電化工業株式会社
Agent (1)： 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997099288
Publication number (International publication number)：1998289899
Application date： Apr. 16, 1997
Publication date： Oct. 27, 1998
Summary：

【要約】【課題】 2価のクロムイオンを含む酸性水溶液で酸化錫膜をエッチングする場合、エッチング液を酸化から保護し安定化させ、容易に高精度でエッチングすることのできる方法を提供する。【解決手段】 2価のクロムイオンを含む酸性水溶液のエッチング液より比重の小さい粒状物を、エッチング液面の全面にわたり浮遊させる。

Claim (excerpt)：

2価のクロムイオンを含む酸性の水溶液をエッチング液として使用して、基材表面上の酸化錫膜をエッチングする方法において、該エッチング液より比重の小さい粒状物を、エッチング液面の全面にわたり浮遊させることを特徴とするエッチング方法。

IPC (5)：

H01L 21/308 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 21/306 ,  C23F 1/16 ,  C30B 33/10

FI (5)：

H01L 21/308 Z ,  G02F 1/1343 ,  C23F 1/16 ,  C30B 33/10 ,  H01L 21/306 F