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J-GLOBAL ID：200903024261443220

ラングミュア-ブロジェット膜の製造装置

Inventor： アルブレヒト オットー ,  松田 宏
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 若林 忠 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998147652
Publication number (International publication number)：1999042455
Application date： May. 28, 1998
Publication date： Feb. 16, 1999
Summary：

【要約】【課題】 異方性の高いラングミュア-ブロジェット膜を連続的に水面上単分子膜を形成する装置を提供する。【解決手段】 単分子膜形成材料を液面に展開する展開領域(S)と、液面上に展開して前記材料を圧縮して単分子膜に変化させる圧縮領域(C)と、前記単分子膜を基板上に積層させる積層領域(D)から構成され、展開領域から圧縮領域を経由して積層領域へ下相水を定常的に流す機構をもつ水槽に、下相水を展開領域から圧縮領域を経由して積層領域へ定常的に流すことのできる第1の流路のほかに、下相水を展開領域から圧縮領域と積層領域の境界部まで定常的に流すことのできる第2の流路を設け、かつ、これら二つの流路を任意に切り替えることのできる制御系を有することを特徴とする製造装置。

Claim (excerpt)：

単分子膜を形成するための材料を液面に展開する展開領域と、前記展開領域で展開された材料を圧縮して単分子膜を生成する圧縮領域と、前記圧縮領域で生成された単分子膜を基板上に積層させる積層領域とを有する水槽と、前記水槽の展開領域から流入した液体を、圧縮領域及び積層領域を通して水槽外に排出する第1の流路とを備えたラングミュア-ブロジェット膜を製造するための装置において、前記第1の流路を通って排出される液体の量を制御する第1の手段と、前記水槽の展開領域から流入した液体を、圧縮領域を通して、圧縮領域と積層領域との境界部から排出する第2の流路と、前記第2の流路を通って排出される液体の量を制御する第2の手段とを設けたことを特徴とするラングミュア-ブロジェット膜の製造装置。

IPC (3)：

B05C 3/09 ,  H01L 51/00 ,  H01L 49/00

FI (3)：

B05C 3/09 ,  H01L 49/00 ,  H01L 29/28