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J-GLOBAL ID：200903024266445310

溝幅測定器、及び現像装置、及び光ディスクスタンパの製造方法

Inventor： 長坂 公夫 ,  加瀬谷 浩康
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999082585
Publication number (International publication number)：2000276781
Application date： Mar. 25, 1999
Publication date： Oct. 06, 2000
Summary：

【要約】【課題】従来の光ディスクスタンパ製造で用いられる現像装置において、現像進捗を監視する機構として1次/0次回折光強度を検出していたが、溝幅が広くなると感度が低下して現像停止時点が不安定になり、光ディスクスタンパの溝幅が安定して得られなかった。本発明の課題は安定した溝幅を得るための現像装置を提供することにある。【解決手段】 現像の進捗を監視する機構として2次/1次回折光強度を検出することにより、幅の広い溝に対して感度が向上し現像停止位置が安定する。また溝深さが変化しても2次/1次回折光強度は変化しないので同じ構成で安定した溝幅が得られる。

Claim (excerpt)：

格子が形成されている被測定対象にレーザ光を当て、前記格子で回折した回折光の強度を測定し、溝幅を測定する装置において、前記被測定対象に照射するための光源となるレーザ光と、被測定対象からの回折光強度を検出するための光強度検出器と、一次回折光の前記光強度検出器の出力値を二次回折光の前記光強度検出器の出力値で除算するための除算器を有することを特徴とする溝幅測定器。

IPC (2)：

G11B 7/26 511 ,  G01B 11/02

FI (2)：

G11B 7/26 511 ,  G01B 11/02 G

F-Term (14)：

2F065AA11 ,  2F065AA22 ,  2F065BB03 ,  2F065CC03 ,  2F065FF48 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  5D121BB29 ,  5D121BB38 ,  5D121HH09 ,  5D121HH15 ,  5D121HH18