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J-GLOBAL ID：200903024271370883
異物検査装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992008920
Publication number (International publication number)：1993196579
Application date： Jan. 22, 1992
Publication date： Aug. 06, 1993
Summary：
【要約】【目的】 液晶パネル製造工程等に用いられるガラス基板など、ガラス材表面の異物検査装置において、ガラス材の裏面に異物が付着する場合でも、ガラス材の表面の異物のみを確実に検出する装置を提供することを目的とする。【構成】 レーザースキャニングのための照射光1として、ガラス基板3を透過しない波長の光、或はガラスの透過率が低い波長の光を使用する。
Claim (excerpt)：
レーザースキャニング方式による異物検査装置において、照射光として、ガラスを透過しない波長の光、或は、ガラスの透過率が低い波長の光を使用することを特徴とする異物検査装置。
IPC (2)：
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