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J-GLOBAL ID：200903024326036910

加振装置または振動除去装置

Inventor： 井上 光二 ,  西畠 周二 ,  柄沢 広紀 ,  小林 清人
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 武石 靖彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993189833
Publication number (International publication number)：1994167414
Application date： Jul. 30, 1993
Publication date： Jun. 14, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 定盤のX、Y、Z軸方向および回転軸Xθ、Yθ、Zθ方向の加振または振動除去を正確になしうる6自由度の加振装置または振動除去装置を提供する。【構成】 定盤1に振動が生じると、Z軸方向の振動は検出センサの信号和zS1+zS2+zS3+zS4で検出され、またXθ方向の振動は、(zS1+zS4)-(zS2+zS3)で検出され、さらにYθ方向の振動は、(zS1+zS2)-(zS3+zS4)で検出される。Y軸方向の振動は振動センサの信号和yS1+yS2で、またZθ方向の振動は、yS2-yS1で検出される。X軸方向の振動は振動センサXSの検出信号変位xSで検出される。そして振動制御手段2は、振動を与える場合は定盤1が所望の振動となるよう、また定盤1の除振を行う場合はそれぞれの振動がゼロになるようアクチュエータZA1、ZA2、ZA3、ZA4、YA1、YA2、XAをそれぞれ駆動する。

Claim (excerpt)：

振動センサにより定盤の振動を検出し、その信号を用いてアクチュエータを駆動することによって定盤の水平直交X、Y軸方向と、垂直Z軸方向及びそれぞれの回転軸Xθ、Yθ、Zθ方向の6自由度の振動を能動的に付加または除去する加振装置または振動除去装置において、X軸方向に1個、Y軸方向に2個、Z軸方向に4個それぞれ配設したアクチュエータ及び振動センサと、前記Xθ方向の振動と前記Yθ方向の振動を前記Z軸方向に配設した4個のアクチュエータと振動センサを用いて、また前記Zθ方向の振動を前記Y軸方向に配設した2個のアクチュエータと振動センサを用いて付加または除去する振動制御手段と、を備えたことを特徴とする加振装置または振動除去装置。

IPC (6)：

G01M 7/00 ,  B06B 1/02 ,  F16F 15/02 ,  G01H 17/00 ,  G05D 19/02 ,  G12B 9/08