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J-GLOBAL ID：200903024344405850

シート状基材の連続処理方法及びその装置

Inventor：
湯浅 基和

About 湯浅 基和

, 
屋良 卓也

About 屋良 卓也


Applicant, Patent owner：
積水化学工業株式会社

About 積水化学工業株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996283973
Publication number (International publication number)：1998130851
Application date： Oct. 25, 1996
Publication date： May. 19, 1998
Summary：
【要約】【課題】 大気圧近傍の圧力下におけるシート状基材の連続処理方法を提供する。【解決手段】 気体の漏れを許容しうる程度の非気密状態にシールされたシート導入口及びシート排出口を備えた処理容器内に、一対の対向電極を配設し、前記対向電極の一方又は両方の対向面を固体誘電体で覆い、前記対向電極の間にシート状基材を連続的に走行させると同時に、前記シート状基材の走行方向と逆の方向から処理用ガスを連続的に接触させ、かつ、前記対向電極間にパルス化された電界を印加することにより放電プラズマを発生させる。
Claim (excerpt)：
気体の漏れを許容しうる程度の非気密状態にシールされたシート導入口及びシート排出口を備えた処理容器内に、一対の対向電極を配設し、前記対向電極の一方又は両方の対向面を固体誘電体で覆い、前記対向電極の間にシート状基材を連続的に走行させると同時に、前記シート状基材の走行方向と逆の方向から処理用ガスを連続的に接触させ、かつ、前記対向電極間にパルス化された電界を印加することにより放電プラズマを発生させることを特徴とするシート状基材の連続処理方法。
IPC (3)：
C23C 16/56 ,  C08J 7/00 306 ,  H05H 1/46
FI (3)：
C23C 16/56 ,  C08J 7/00 306 ,  H05H 1/46 A
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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