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J-GLOBAL ID：200903024355484175

検査方法およびその装置

Inventor： 石田 太
Applicant, Patent owner： ミノルタ株式会社
Agent (1)： 青山 葆 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998083464
Publication number (International publication number)：1999281584
Application date： Mar. 30, 1998
Publication date： Oct. 15, 1999
Summary：

【要約】【課題】 透明または半透明材料からなる被検物の欠陥を容易に検査できる検査方法およびこの方法を用いた検査装置を提供する。【解決手段】 光源から出た光により透明または半透明な材料からなる被検物を照明し、その透過光から被検物の欠陥を検査する検査装置において、被検物を照明する光が略平行光である。この検査装置によれば、被検物に欠陥が存在する場合、略平行光で照射されるので、欠陥に入射する光束の角度がほぼ同じとなり、散乱する方向も揃うので、被検物を透過した光の中から欠陥部分を非欠陥部分から明瞭に識別できる。よって、非常に小さな欠陥も容易に各種光センサ・目視で検出できる。

Claim (excerpt)：

透明または半透明な材料からなる被検物を照明し、その透過光から被検物の欠陥を検査する検査方法において、上記被検物を照明する光が略平行光であることを特徴とする検査方法。