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J-GLOBAL ID：200903024368631002
キャピラリ及びその製造方法並びにこれを用いた走査型近接場顕微鏡
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
古谷 史旺 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996180835
Publication number (International publication number)：1998026628
Application date： Jul. 10, 1996
Publication date： Jan. 27, 1998
Summary：
【要約】【課題】 走査型近接場顕微鏡のプローブ等に用いられるキャピラリを、その先端部の開口を精度良く所望の口径に形成できる構造にする。【解決手段】 本体部50Cが筒状に先端部50Bが先細りのテーパ状に形成されたキャピラリ50において、少なくとも、その先端部50Bの内壁50Eに、所定膜厚の金属膜51が形成されている。
Claim (excerpt)：
本体部が筒状に先端部が先細りのテーパー状に形成されたキャピラリにおいて、少なくとも上記先端部の内壁に金属膜が形成されていることを特徴とするキャピラリ。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 37/00 E
, G01B 11/30 Z
